Работна теорија：

Со претходно пумпање на печката за вакуумирање, а потоа загревање за да се постави температурата, се надувува амонијакот за процесот на нитридирање, потоа се пумпа и повторно се надувува по неколку циклуси за да се достигне целната длабочина на нитридот.

Предности:

Споредете со традиционалното гасно нитридирање. Со активноста на металната површина при вакуумско загревање, вакуумското нитридирање има подобар капацитет на адсорпција, за да се постигне пократко време на процесот, поголема тврдост,прецизенконтрола, помала потрошувачка на гас, погуст бел соединение.