Карактеристики:

1) Брзината на нитрирање е поголема, циклусот на нитрирање може соодветно да се скрати, а времето на јонско нитрирање може да се скрати на 1/3-2/3 од времето на гасно нитрирање.

2) Кршливоста на слојот од нитридирање е мала, а белиот слој формиран на површината на плазма нитридирањето е многу тенок или дури никаков. Покрај тоа, деформацијата предизвикана од слојот од нитридирање е мала, што е особено погодно за прецизни делови со сложени форми.

3) Може да се заштеди потрошувачка на енергија и амонијак. Потрошувачката на електрична енергија е 1/2-1/5 од гасно нитридирање, а потрошувачката на амонијак е 1/5-1/20 од гасно нитридирање.

4) Лесно е да се реализира локално нитридирање, сè додека делот што не сака нитридирање не произведува сјај, делот што не се нитридира е лесен за заштита, а сјајот може да се заштити со механичка заштита и железна плоча.

5) Јонското бомбардирање може да ја прочисти површината и автоматски да ја отстрани пасивната фолија. Нерѓосувачкиот челик и челикот отпорен на топлина може директно да се нитридираат без претходно отстранување на пасивната фолија.

6) Структурата на сложениот слој, дебелината и структурата на инфилтрацискиот слој може да се контролираат.

7) Опсегот на температура на третманот е широк, а одредена дебелина на слојот од нитридирање може да се добие дури и под 350 C.

8) Условите за работа се подобрени. Третманот без загадување и со плазма нитридирање се изведува под многу низок притисок со многу малку издувни гасови. Изворот на гас е азот, водород и амонијак, и во основа не се произведуваат штетни супстанции.

9) Може да се примени на сите видови материјали, вклучувајќи не'рѓосувачки челик, челик отпорен на топлина со висока температура на нитрирање, челик за алати и прецизни делови со ниска температура на нитрирање, додека нитрирањето на ниски температури е доста тешко за гасно нитрирање.